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바이오나노학부 나노 工學(공학) 실험 report CFL Capillary Force Lithography > googlepay22

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바이오나노학부 나노 工學(공학) 실험 report CFL Capillary Force Lithography

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작성일 24-04-16 06:01

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3) overall

① PDMS의 경화가 끝나면 master에서 떼어낸다. 이 방법에는 약간의 단점이 존재하는데, 이 단점을 극복하기 위해 Solvent-assisted microcontact molding이 개발되었다.

⑤ 20분 정도 기다린 후 wafer를 꺼낸다. 경화제가 제대로 섞이지 않는다면 굳지 않을 수도 있으므로 주의한다. 이 때 주의해야할 점은 거품이 너무 많이 생기지 않도록 해야한다. wafer가 녹을 수도 있으므로 바닥에 닿지 않도록 올려놓는다. 경우에 따라 시간이 걸릴 수도 있다 본 實驗(실험)은 약 1주일 정도가 지난 후 wafer를 꺼냈음을 미리 알린다.

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나노 工學實驗(실험) 리포트
Capillary Force Lithography
바이오나노학부

1. Introduction

- 이번 實驗(실험)의 목적은 고분자의 pattern을 만드는 것이다. Capillary force는 고분자 patterning에서 중요한 정이 이 된다 액체가 모세관을 적시면, 낮은 Gibbs free energy를 가지게 된다 이 wetting이 Capillary를 일으킨다고 할 수 있다 대표적인 방법이 micromolding in capillary 이다.

④ 140℃ oven에 올려놓는다.

4. Result.

5. Sem Picture

6. Discussion




바이오나노학부 나노 工學(공학) 실험 report CFL Capillary Force Lithography

설명



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바이오나노학부 나노 工學(공학) 실험 report CFL Capillary Force Lithography



실험과제/기타
순서
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다. 30초 3000rpm으로 spin coating 한다. 기포가 다 없어질 때까지 이 과정을 반복한다.

③ master를 떼어내고 나면 이를 spin coating 한 PS wafer위에 기포가 중간에 들어가지 않도록 한쪽부터 눌러준다. 주의할 점은 칼로 잘 잘라지지 않으므로 작두를 내리듯이 떼어내야 한다.

③ 약 1시간이 지나면 꺼내어 경화를 판별한다.

② 오븐에 넣고 10분 뒤 꺼내어 위로 떠오른 기포를 제거해준다. 이는 substrate에 두꺼운 polymer layer를 형성하여 elastomeric mold(탄성체 주형)에 용매를 wetting 하여표면에 thin layer만 패턴을 형성하는 방법이다.
이 CFL은 한마디로 열을 가해서 고분자의 유동성을 유발하는 nanoimprinting과 microcontact printing의 결합 형태이다.

⑥ wafer에서 PDMS를 벗겨 낸 후 패턴을 확인하고 SEM으로 다시 한번 패턴을 확인한다.

② 원하는 master를 잘라낸다.

2) PS

① PDMS가 오븐에 들어가 있는 동안 Spin coating을 한다. 단순히 Mask를 놓고 찍어내는 방식이 아니라 고분자의 capillary force를 이용해서 넓은 범위의 pattern을 나타낼 것이다. PS의 농도는 10%이다. 완전히 굳을 때까지 기다린다. 그 결과 imprint의 뛰어난 패턴 형성과 압력을 가할 필요가 없는 microcontact의 長點을 동시에 갖는다…(투비컨티뉴드 )

2. 實驗(실험) theory

3. Materials and Method.

1)PDMS

① PDMS 60g과 경화제 6g을 종이컵에 따라 스푼으로 잘 저어준다.

REPORT 11(sv76)


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