TFT-LCD 공정의(定義) 작업環境
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작성일 23-04-20 11:16
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TFT가 형성되어 있는 아래 유리기판
액체와 고체의 중간상태에 있는 물질
증착에 필요한 gas를 주입하여 Plasma 상태로 분해하여 기판위에 증착하는 공정 증착되는 물질은 절연막과 반도체막으로 나눠지며 절연막 - 게이트 절연막, 보호막, etch stopper막 반도체막 활성 층을 이루는 비정질 실리콘(a-Si:H)접촉 저항층을 이루는 비정질 실리콘막(n+ a-Si:H)
굴절율, 유전율, 전도율, 점성율 등의 물성값이 분자 장축의 평행 방향과 수직 방향에 따라 다름.
Plasma 내의 gas ion이 target 표면과 충돌하여 target 입자들이 기판에 증착되는 공정
구성
Manufacturing Process
화학물질이나 反應(반응)성 GAS를 사용하여 필요 없는 부분을 선택적으로 제거 시키는 공정
TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD)
MSDS & NFPA 704 M Code
음극표면에 target 물질을 장착 증착물질의 特性에 영향을 주지 않는 He, Ar 등의 불활성 기체를 이용하여 양극에 놓여진 기판 위에 튀어나온 target 물질이 증착
TFT 와 Color Filter 사이에 주입된 액정(LC)으로 구성
Module Process
Cell Process
순서
TFT-LCD,TFT,LCD,액정,TFT-LCD공정,작업환경
TFT는 전기적 신호를 전달, 제어
설명
제어된 빛은 Color Filter를 통과하면서 원하는 색과 영상으로 표현
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TFT Process
액정은 전압에 따라 분자구조를 달리하여 빛의 투과를 제어
Hazards
액정
TFT-LCD 공정의(定義) 작업環境
레포트 > 공학,기술계열
Color Filter가 형성되어 있는 윗 유리기판
TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD) LC(Liquid Crystal) Manufacturing Process TFT Process Cell Process Module Process Hazards MSDS & NFPA 704 M Code
反應(반응)속도가 빠르고 미세 형상을 식각할 수 있으며, 진공 chamber 내에서 反應(반응)이 이루어지므로 안전상 유리하다
LC(Liquid Crystal)
막대모양의 구조
원리
다.
