[공학] 광학현미경 觀察(관찰) - 저탄소강을 이용하여 금속 소재의 미세구조를 觀察(관찰)
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작성일 23-09-29 21:12
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6) 시편 표면의 polishing 잔여물과 연마재를 제거하기 위해 세척이 필요하다. 또는, wet etching에서 사용되는 화학 약품을 사용하지 않고 기체 플라즈마에 의한 反應을 이용한 etching 공정을 의미한다.
2.이론(理論)적 배경
1)etching : 금속표면의 침식작용에 의거 금속을 그 표면으로부터 분리 제거하는 처리기술을 etching 이라고 한다. 주의사항으로 grinding영영과 분리되어 있는 청정영역에서 진행되어야 하고 polishing은 가급적 빠른 시간에 끝내야한다. 단상 결정립의 화학적인 反應은 결정학적 방위에 따라 차이가 있어 etching 후 grain boundary을 즉 작은 홈(groove)를 관찰할 수 있다아
1-1) wet etching : 금속등과 反應하여 부식시키는 산계열의 화학 약품을 이용하여 thin flim layer의 노출되어 있는 부분을 녹여 없애는 것이다.3) 열 가소성 수지인 acrylic 수지를 사용하여 hot comporession mounting하여 ,작업이 원활하도록 적당한 크기로 제조한다.
5) grinding 후 시편의 고 반사도, scratch제거, 시편의 편평도를 유지하기 위하여 polishing을 한다.
1-2) dry etching : ion을 가속시켜 노출 부위의 물질을 떼어냄으로써 pattern을 형성하는 것을 말한다.
4. 實驗 결과
실험과제/기타
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